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金属薄膜中的晶粒生长理论及实验研究
  • 颁奖组织：陕西省教育厅
  • 类别：陕西高等学校科学技术奖
  • 时间：2011.6.6
  • 级别：壹等
  • 所属机构名称：陕西师范大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：超大规模集成电路铜互连线的微结构及尺寸效应研究
作者： 张建民|徐可为|张研|马飞|魏秀梅|辛红|王豆豆|
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