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飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法及其应用
  • 颁奖组织:2013年度教育部高等学校科学研究优秀成果(科学技术)奖
  • 类别:自然科学
  • 时间:2014
  • 级别:省部二等奖
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 成果类型:获奖
  • 相关项目:基于飞秒激光制备技术的新型微全分析纳米磁珠芯片的研究
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