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微纳加工过程的超精密检测技术、设备及其应用
颁奖组织:中华人民共和国教育部科技发展中心
类别:高等学校科学研究优秀成果奖(科学技术) 技术发明奖
时间:2014.2.24
级别:省部二等奖
所属机构名称:浙江大学
成果类型:获奖
相关项目:基于旋转声场的高性能自动化在线超声无损检测理论与实践研究
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