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MEMS高Q值微谐振腔光学特性及其在传感领域的应用基础研究
  • 颁奖组织：山西省科学技术奖励委员会
  • 类别：发明
  • 时间：2013.8
  • 级别：其它
  • 所属机构名称：中北大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：硅基III-V族外延量子点RTD隧穿陀螺仪的基础效应研究
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