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多晶硅冷氢化生产核心专用加热合成反应器成套工艺装备
颁奖组织:国务院
类别:2012年度国家科学技术进步奖
时间:2012.12.19
级别:二等奖
所属机构名称:江苏大学
成果类型:获奖
相关项目:单片集成的弯曲悬臂梁式三轴热对流加速度传感器研究
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