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典型微小尺度器件操作的关键技术与设备
  • 颁奖组织:黑龙江省人民政府
  • 类别:黑龙江省技术发明奖
  • 时间:2012.12.12
  • 级别:二等奖
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 成果类型:获奖
  • 相关项目:纳米结构与器件跨尺度三维操纵与互连的基础研究
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