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《半导体科学与技术》，第5章：
  • 所属机构名称：中国科学院半导体研究所
  • 成果类型：著作
  • 出版社：科学出版社
  • 相关项目：材料尺寸效应及其相关科学问题
作者： 主编：何杰、夏建白，第5章作者
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