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硅片的超精密磨削理论与技术
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 成果类型：著作
  • 出版社：电子工业出版社
  • 相关项目：硅片与光电晶体基片的高效低损伤超精密磨削技术研究
作者： 康仁科|郭东明|
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