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氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器研制
  • 所属机构名称：江苏大学
  • 时间：2012.12.10
  • 成果类型：著作
  • 出版社：江苏大学出版社
  • 相关项目：单片集成的弯曲悬臂梁式三轴热对流加速度传感器研究
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