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Motion control of an ultra precision positioning stage
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:IEEE International Conference on Mechatronics and Automation
  • 成果类型:会议
  • 会场:Harbin
  • 相关项目:二维平面电机复杂多变量耦合非线性动力学及控制研究
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