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Influence of metal electrode(Ag,Au,Pt) on the dielectric and electrical properties of HfTaO capacito
  • 所属机构名称：苏州大学
  • 会议名称：2nd International Conference on Manufacturing Science and Engineering, ICMSE 2011
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：双频调制等离子体和双离子束制备复合铪基高k薄膜机理及物理特性
作者： Yu, Tao|Wu, Xue Mei|Zhuge, Lan Jian|
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