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Surface quality of silicon wafer improved by hydrodynamic effect polishing
  • 所属机构名称：中国人民解放军国防科学技术大学
  • 会议名称：7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies
  • 时间：2014
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：光刻物镜光学零件纳米精度制造基础研究
作者： 彭文强|关朝亮|李圣怡|
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