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高精度光学超半球面离子束确定性抛光技术研究
  • 所属机构名称:中国人民解放军国防科学技术大学
  • 会议名称:第四届机械工程博士论坛
  • 时间:2012
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:光刻物镜光学零件纳米精度制造基础研究
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期刊论文 46 会议论文 7 获奖 4 著作 1
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