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直流磁控溅射法制备氧化钒薄膜的研究
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:中国宇航学会2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会
  • 成果类型:会议
  • 会场:杭州
  • 相关项目:微波、毫米波开关电路基础研究
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