中文摘要：

研究了基于纳米结构的二氧化钒多晶薄膜材料, 作为微波、毫米波开关电路结构的可行性；研究了利用这种新材料，设计和制造微波、毫米波开关电路的方法，测试了性能参数，初步进行了应用基础研究。在材料研究方面改善纳米结构二氧化钒薄膜的制造方法和深入探讨其微观机理，研究了它的半导体-金属相转变规律和纳米结构二氧化钒薄膜转变温度继续向室温靠拢的现象，建立了理论模型；研究了它的电阻开关率和相转变速度，研究了它的光学特性, 使其满足微波、毫米波开关电路的要求。在器件研究方面设计和制造了几种适合于微波、毫米波应用的开关电路结构，例如电寻址结构、光寻址结构和微桥结构等；测定了它们的性能参数，例如光学特性、开关特性、可靠性和功耗等，为评估它们的应用前景提供了依据。