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Direct formation of parallel single-walled carbon nanotube bridges on micromachined wide trenches fo
  • 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称:Transducers 2009
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于CVD方法制备的水平定向单壁碳纳米管阵列红外探测器的材料、制造及性能研究
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