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Investigation on Internal Stress of SU-8 Photoresist Film
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：THE 11th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS
  • 时间：2013.7.7
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法
作者： Zhang, Xiaolei|杜立群|
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