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Application of ultrasonic stress relief in the fabrication of SU-8 micro structure
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：12th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, CSMNT and 2nd International
  • 时间：2011.4.4
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法
作者： Du, Liqun|Wang, Qijia|Zhang, Xiaolei|
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