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Numerical Analysis on Gas Lubrication of Microsliders with a Modified Navier-Stokes Equation
  • 所属机构名称:清华大学
  • 会议名称:Proc. 9th Asia-Pacific Magnetic Recording Conf.
  • 时间:2012.10.30
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:纳米图案的旋转式近场光刻制造系统与关键技术
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