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Nanostructure Design and FIB Fabrication of Plasmonic Lens for Near-Field Nanolithography
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：The 3nd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
  • 时间：2012.7.25
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：纳米图案的旋转式近场光刻制造系统与关键技术
作者： Jiaxin Ji|Yonggang Meng|Nanhai Song|
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