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制备SiGe/Si体分布纳米结构新方法
  • 所属机构名称：厦门大学
  • 会议名称：硅基光电子材料及器件会议
  • 成果类型：会议
  • 会场：杭州
  • 相关项目：高能聚焦电子束硅纳米线加工及相关物理问题研究
作者： 潘书万|陈松岩|周笔|赖虹凯|李 成|朱贤方|余金中|
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高能聚焦电子束硅纳米线加工及相关物理问题研究
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