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Investigation on the resonant properties of FBAR and HBAR
  • 所属机构名称：中国科学院声学研究所
  • 会议名称：Proc. of Asia-pacific conference of transducers and micro-nano technology
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于MEMS薄膜体声波谐振器的微波SOC振荡器研究
作者： Zhenhong Hao|Liang Tang|Donghai Qiao|
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