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射频等离子体放电及碳基材料处理研究
  • 所属机构名称：苏州大学
  • 会议名称：中国物理学会2014秋季会议（E分会场）
  • 时间：2014.9.14
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：螺旋波等离子体特性及与材料相互作用基础研究
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