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Radio frequency plasmas discharge and their application
  • 所属机构名称:苏州大学
  • 会议名称:第6届中日先进等离子体技术研讨会(PLASAS-6)
  • 时间:2014.10.20
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:螺旋波等离子体特性及与材料相互作用基础研究
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