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Surface Damage in Silicon Co-implanted with He and H ions, Effect of H Implant Energy
  • 所属机构名称:天津大学
  • 会议名称:17th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:He和H离子注入Si基材料引起的表面剥离及机理研究
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