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Electrical properties of micro-heaters using sputtered NiCr thin film
  • 所属机构名称:上海交通大学
  • 会议名称:8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:面向瘫痪恢复的柔性可植入人工神经系统跨尺度制造关键问题研究
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