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A Wavelet-Galerkin Method for the Simulation of Torsion MEMS devices under the Effect of Squeeze Fil
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：2011 International Conference on electric Information and Control Engineering
  • 时间：2011.4.4
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：扭转式微机械谐振器件的扭转-弯曲耦合热弹性阻尼机理
作者： Song Yongping|Li Pu|Hu Rufu|
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