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Size and mass loading effect on quality factor of single-crystal silicon cantilever in atmosphere
  • 所属机构名称：中国科学技术大学
  • 会议名称：6th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation
  • 成果类型：会议
  • 会场：Hangzhou
  • 相关项目：基于微探针的热机械式高分子纳米结构加工机理研究
作者： Chen Y.-H.|Liu Y.|Zhao G.|Chu J.-R.|
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