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基于阳极键合工艺的微型气室封装
  • 所属机构名称:北京大学
  • 会议名称:第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会,敦煌,2007年9月15日-18日。国内,口头报告
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:单根金属纳米线-接触电极的可控制备与电学特性研究
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