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Weighted cost rate-based heuristic scheduling method for semiconductor furnaces
  • 所属机构名称:同济大学
  • 会议名称:International Conference on on Frontiers of Manufacturing and Design Science
  • 时间:2011.4.4
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:带驻留与资源约束的多重入集束型晶圆制造设备群调度模型与算法研究
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