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Structural design of 2D piezoresistive micro-force sensor
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:14th Annual Conference and the 3rd International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Tec
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:纳米结构与器件跨尺度三维操纵与互连的基础研究
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