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大型非球面镜面型在位横向剪切干涉检测系统研究
所属机构名称:哈尔滨工业大学
会议名称:中国工程物理研究院第五届学术年会
成果类型:会议
相关项目:非球镜面超精密检测理论与实验方法
作者:
孙涛|肖虹|王起维|何建国|
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