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中文摘要：
针对大口径非球面高效加工检测一体化的技术难题，本课题提出了一种利用剪切干涉波前理论获得被测波前完整信息及反映被测非球面误差的方法，并进行了干涉测量工艺修正和补偿加工技术的研究。具体研究包括采用新型剪切干涉理论及数学分析方法，推导出了大口径非球面波前信息重建理论的矢量表达式，建立了在线干涉测量的理论模型；进行了剪切干涉仪双干涉剪切光路的设计、制造与安装调整、测量过程工艺参数优化，通过剪切干涉仿真，研究了传统剪切干涉测量仪器的原理与结构，并进行了改进，建立了加工补偿模型，解决了在位反馈加工等关键技术问题；通过高精度在位测量与加工补偿来完善理论模型和测量工艺，最终加工出了满足技术指标要求的大口径非球面零件，为大口径非球面的高效高精度加工制造提供了一种可行的技术方法。
结论摘要：
英文主题词Ultra-precision machining; optical manufacturing; aspherical surface testing; shearing interferometry; in-situ measurement
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