Analysis of microstructure heights error of multilayer diffractive optical elements for far infrared
- 所属机构名称:长春理工大学
- 会议名称:International Conference on Optical Instruments and Technology (OIT) - Optical Systems and Modern
- 时间:2011
- 成果类型:会议
- 相关项目:基于带宽积分平均衍射效率最大化的多层衍射光学元件优化设计模型的研究