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ICP刻蚀技术在聚合物倒脊型光波导器件制作中的应用
  • 所属机构名称：吉林大学
  • 会议名称：全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议
  • 时间：2011.6.6
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于LaF3:ErYb纳米粒子掺杂的有机光波导放大器
作者： 张琨|岳远斌|李彤|孙小强|张大明|
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期刊论文 78 会议论文 8 专利 1
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