位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
感应耦合等离子体刻蚀制备低损耗倒脊形聚合物光波导
  • 所属机构名称：吉林大学
  • 会议名称：中国光学学会2011年学术大会
  • 时间：2011.9.9
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于LaF3:ErYb纳米粒子掺杂的有机光波导放大器
作者： 孙小强|张琨|陈长鸣|李晓东|王菲|张大明|
同会议论文项目
基于LaF3:ErYb纳米粒子掺杂的有机光波导放大器
期刊论文 78 会议论文 8 专利 1
同项目会议论文
聚合物波导形貌的等离子体刻蚀工艺优化研究
层间互溶对DR1/SU-8材料非线性效应的影响
有机/无机复合功能材料倒脊型波导热光开关
聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究
聚合物光波导刻蚀表面散射损耗的研究
Fast polymer thermo-optic switch with silica under-cladding
ICP刻蚀技术在聚合物倒脊型光波导器件制作中的应用