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光致硅微悬臂梁形变理论研究
  • 所属机构名称：复旦大学
  • 会议名称：国内。口头报告。中国微米纳米技术第八届学术年会，南京，2006年9月21-23日。 传感技术学报[J]，第19卷，第5期：1693-1696.
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：超高灵敏度光致形变微梁- - 纳米膜气敏传感器的研究
作者： 郭育林
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