中文摘要：

在当今国际社会多极分化日趋严重的背景下，反恐安防成为国防安全和社会安定的重中之重，受到各国的强烈关注。本项目研究一种快速检测极低浓度的生化战剂和有毒有害物质等本课题研究一种快速检测极低浓度的生化战剂和有毒有害物质等的新技术，即利用光致形变的微梁与纳米分子筛敏感膜有机结合、和压电检测的新型化学气敏传感器，其灵敏度有望达到ppt级。本项目创新地采用了含有压电材料的光致形变微梁的新结构，并提出了将微梁与

结论摘要：

本项目研究了一种快速检测极低浓度的生化战剂和有毒有害物质等的新技术，即利用光致形变的微梁与纳米分子筛敏感膜有机结合、和压电/压阻检测的新型化学气敏传感器，实现了0.2ppm类沙林气体DMMP的极低浓度检测，传感器响应在微秒量级。本项目从半导体物理基础出发，创新地建立了包括光致载流子扩散和复合效应等在内的全新光致形变模型，模型很好地解释了光致变形的机理，并将理论和实验之间的差距由25倍缩小至接近1倍。设计制作了可以含有压电材料的光致形变微梁的新结构，并提出了将微梁与对被检测分子具有独特选择性的纳米分子筛材料相结合的新思路。完成了压阻检测的设计。制备了对于类沙林气体DMMP具有特定吸附能力的纳米分子筛敏感膜，并完成了其在传感器中的应用。建立了纳米形变检测仪和传感器检测系统。该传感器将在反恐、缉毒、防爆等领域有广阔的应用前景。项目小组共发表论文11篇，其中SCI收录3篇，EI收录4篇。获得中国发明专利3项。培养研究生6名。