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Design and Control of a High Acceleration and High Precision Air Bearing Stage
  • 所属机构名称:中国计量学院
  • 会议名称:Fourth International Conference on Intelligent Computation Technology and Automation
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:超精密静压气浮导轨的自激振动机理与设计方法的研究
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