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CFD Investigation on the Performance of Aerostatic Thrust Bearing With Exhaust Slots Used in Low-vac
  • 所属机构名称:中国计量学院
  • 会议名称:International Conference on Mechanical Engineering and Material Science
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:超精密静压气浮导轨的自激振动机理与设计方法的研究
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