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Stress relaxation in sandwiched Si3N4/Al/Si 3N4 thin films
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:6th International Conference on Processing and Manufacturing of Advanced Materials - THERMEC'2009
  • 成果类型:会议
  • 会场:Berlin, Germany
  • 相关项目:超薄超细晶体材料的尺寸效应及其能量学研究
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