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Stress relaxation in sandwiched Si3N4/Al/Si 3N4 thin films
所属机构名称:西安交通大学
会议名称:6th International Conference on Processing and Manufacturing of Advanced Materials - THERMEC'2009
成果类型:会议
会场:Berlin, Germany
相关项目:超薄超细晶体材料的尺寸效应及其能量学研究
作者:
Ma, F.|Xu, K.W.|Ma, B.|Chang, G.R.|
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