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A X-axis micromachined gyroscope with doubly decoupled oscillation modes
  • 所属机构名称：北京大学
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
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体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
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