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Photothermal response in semiconducting microcantilevers produced y laser excitation
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：2013 International Conference on MEMS and Mechanics
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：激光激励下微半导体结构的振动研究
作者： Y.Q.Song|X. G. Yang|
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