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Photothermal elastic vibration method: investigation of the micro-electro-mechanical-system
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:15th International Conference on Photoacoustic and Photothermal Phenomena(ICPPP15)Journal of Physics
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:激光激励下微半导体结构的振动研究
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