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热处理对铸造多晶硅缺陷形貌的影响
  • 所属机构名称：河北工业大学
  • 会议名称：第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议论文集，2007.11，p598-600.
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：金属硅熔体的化学、物理提纯机理和廉价太阳电池多晶硅片的制备
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