位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
全内反射全息微光刻分辨力研究
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：1998年中国青年学者技术学术讨论会（现代光学及应用）（国际学术会议）,1998.8.25-29,成都（乐山）
  • 作者或编辑：3448
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：波前共轭全息微光刻研究
作者： 陈芬|冯伯儒|张锦|侯德胜|
同会议论文项目
波前共轭全息微光刻研究
期刊论文 9 会议论文 6
同项目会议论文
全内反射全息光刻实验研究
高分辨全息光栅制作技术
Optical Holography Used in Optical Microlithography
波前共轭全息技术在微细图形光刻中的应用
用于全息微光刻的计算全息编码掩模