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On-Chip Temperature-control Technology for Silicon Micro-gyroscope
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：2nd International Conference (12th Annual Conference) of the Chinese Society of Micro-Nano Technolog
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：硅微陀螺阵列技术及其信号处理方法研究
作者： 徐露|杨波|王寿荣|李宏生|黄丽斌|
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硅微陀螺阵列技术及其信号处理方法研究
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