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硅微阵列陀螺的设计、加工与测试
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十三届（2011）学术年会论文集(No.525)
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：硅微陀螺阵列技术及其信号处理方法研究
作者： 张印强|杨波|李婧|王寿荣|
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