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Stress-free GaN films directly grown on wet-etched patterned sapphire substrates by HVPE
  • 所属机构名称：中国科学院半导体研究所
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：m面蓝宝石上非极性与半极性GaN衬底的生长及相关材料问题研究
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