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Micromachined optical switch with a vertical SU-8 mirror
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：Proc. Of Int. Symp. on Optoelectronics and Microelectronics, 7-9 Nov. 2001, Nanjing, China,
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：清华大学
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微型光学开关的基础研究
作者： Suyan Liu|Minqiang BU|Xiongying Ye|et.al|
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